AlGaN材料金属接触的性能和界面结构研究

摘要：

文章通过AlGaN材料的金属接触制作工艺和接触性能、接触界面显微结构和基础理论研究等诸方面反映AlGaN材料的欧姆接触及势垒接触研究概况和最新进展.

关键词：铝镓氮材料、欧姆接触、界面、显微结构

所属期刊栏目：35

分类号：TN304.2+6;TN485(半导体技术)

在线出版日期：2005-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：867-872