碲锌镉衬底缺陷对液相外延碲镉汞薄膜结构的影响

摘要：

采用红外显微镜、X射线双晶回摆衍射法、X射线貌相术对CdZnTe衬底中的沉淀相、亚结构、组分偏析等缺陷进行了研究,并对用此衬底液相外延的HgCdTe薄膜作了测试.结果显示:CdZnTe衬底中亚晶界处聚集的位错在外延生长中呈发散状向薄膜中延伸,造成了薄膜形成亚晶界和更大面积的由位错引起的晶格畸变应力区域,影响了薄膜结构的完整性.

关键词：X射线双晶回摆衍射法、貌相术、CdZnTe衬底、HgCdTe薄膜、液相外延、Te沉淀相

所属期刊栏目：35

分类号：TB303;TN204;TN304.91(工程材料学)

在线出版日期：2005-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：663-667