可调波长半导体激光测量台阶高度方法研究

摘要：

文章在分析台阶高度测量现状和背景的基础上,着重介绍了用半导体激光器实现台阶高度的绝对干涉测量方案,提出以可调谐半导体激光器作为光源,采用可调合成波长链法实现纳米级精度毫米级量程的台阶高度测量,并详细分析了本方案的原理、误差.

关键词：可调合成波长链、台阶高度、可调谐半导体激光器、绝对干涉测量

所属期刊栏目：35

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：518-520