高质量CVD金刚石自支撑膜的连续激光损伤研究

摘要：

利用HJ-4型连续CO2激光对金刚石膜进行了激光损伤阈值的研究,损伤后的金刚石膜用SEM和Raman进行了表征.研究结果表明,高质量CVD自支撑金刚石膜具有较高的激光损伤阈值,金刚石膜抗连续激光损伤阈值的范围是在1.15×106～2.26×106W/cm2.金刚石膜激光损伤主要是由于热震损伤,其机制属于热-力耦合机制.

关键词：金刚石膜、激光损伤、红外窗口

所属期刊栏目：35

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2202AA305508

在线出版日期：2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：430-432