用于动态红外景物模拟器的超薄氮化钛薄膜

摘要：

针对动态红外景物模拟器的应用要求,用磁过滤电弧离子镀方法制备了超薄氮化钛薄膜.制备的薄膜厚度介于7.5nm至75nm.重点研究了薄膜的微观结构、电阻温度系数、电阻温度稳定性、薄膜的微加工等性质.实验结果表明,氮化钛薄膜是一种良好的辐射电阻材料.

关键词：动态红外景物模拟、电弧离子镀、氮化钛薄膜、电阻温度系数

所属期刊栏目：35

分类号：TN37;O484.4(半导体技术)

在线出版日期：2005-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38