锗基底3～5μm和8～12μm双波段红外增透膜研究

摘要：

文中简要叙述了双波段(3～5μm和8～12μm)红外增透膜的膜料选择以及锗基底上红外双波段增透膜的设计与镀制,介绍了离子束辅助沉积技术制备该薄膜的过程.提出了采用脉冲真空电弧离子镀技术镀制无氢类金刚石膜作为红外增透膜的保护膜,并讨论了镀制类金刚石膜后,镀膜元件的光谱特性.

关键词：双波段、红外增透膜、离子束辅助沉积、类金刚石膜

所属期刊栏目：34

分类号：TB43;TN214(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2004-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：372-374