双频激光干涉仪技术现状与发展

摘要：

文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势.

关键词：双频激光干涉仪、外差干涉、高分辨率、高精度、高测速

所属期刊栏目：34

分类号：TN7;TN2

在线出版日期：2004-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：251-253