一种提高DWDM干涉滤光片镀膜有效面积的方法

摘要：

通过有限元法分析膜厚均匀性,提出一种提高DWDM镀膜有效面积的方法--首先找到对蒸发膜料发射特性n最不敏感的镀膜机基板高度h,然后加入挡板修正膜厚均匀性,通过该方法,可使镀膜有效面积提高数十倍.并讨论了挡板加工精度对膜厚均匀性的影响.

关键词：DWDM干涉滤光片、有限元法、膜厚均匀性、挡板、有效面积

所属期刊栏目：33

分类号：O484.1(固体物理学)

在线出版日期：2004-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：463-465