AFM在纳米结构加工中的应用研究

摘要：

文中阐述了基于自行研制的原子力显微镜(AFM)的纳米刻蚀加工方法,研究了针尖上的载荷大小和扫描次数对加工深度的影响,利用AFM的微探针在氧化铝(Al2O3)材料表面加工出纳米结构,验证了该加工方法的可行性.实验结果表明基于AFM的纳米刻蚀技术可作为加工纳米器件的重要手段.

关键词：AFM、纳米结构、加工、Al2O3

所属期刊栏目：33

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2003-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：283-284,296