MEMS技术用于红外器件制作

摘要：

MEMS技术是一项新兴的微细加工技术,已开始在各领域有了广泛应用.它可将信息获取、处理和执行等功能集成为一体化的微电子机械系统(MEMS)或微光电子机械系统(MOEMS),具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等特点,因此也开始被红外技术领域所采用,为该领域研究提供了一条新途径.文中简要介绍了MEMS技术的主要特点和工艺,并对MEMS技术在红外器件研制方面的应用作了详细叙述.

关键词：MEMS、MOEMS、红外器件、IR光源

所属期刊栏目：33

分类号：TN205(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：212-214