980nm脊型波导激光器腔面非注入区的研究

摘要：

报导了质子注入技术在提高980nm半导体激光器可靠性上的应用.p-GaAs材料经过质子注入后获得高的电阻率.在距离腔面25μm的区域内进行质子注入,由此形成腔面附近的电流非注入区.腔面附近非注入区减少了腔面载流子的注入,因此减少了非辐射复合的发生,提高了激光器的灾变性光学损伤(COD)阈值.应用质子注入形成腔面非注入区的管芯的平均COD阈值功率达到268mW,而应用常规工艺的管芯的平均COD阈值功率为178mW.同常规工艺相比,应用质子注入形成腔面非注入区技术使管芯的COD阈值功率提高了50%.

关键词：980nm半导体激光器、可靠性、质子注入、非注入区、COD

所属期刊栏目：33

分类号：TN248.4(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：109-111