半导体紫外探测器技术进展

摘要：

介绍了几种新型半导体紫外探测器.列出了这类探测器的各项用途及优点,并对其结构,制作方法以及性能作出了简要说明.N化物半导体紫外探测器具有探测波长范围可调,可靠性好等优点,可以认为是半导体紫外探测器发展的主要方向.

关键词：紫外探测器、AlGaN探测器、光电二极管、金属-半导体探测器

所属期刊栏目：33

分类号：TN23;TN36(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：83-86