皮秒激光辐照下半导体表面结构变化的研究

摘要：

研究了皮钞激光辐照下,半导体吸收和反射特性与材料性质、激光能量密度及激光产生电子-空穴等离子体的关系.实验测量了硅材料与掺杂硅材料表面反射率与Nd∶ YAG锁模激光器能量密度的关系曲线,给出了分析靶面结构的方法.

关键词：皮秒激光、吸收、反射率、电子-空穴等离子体

所属期刊栏目：32

分类号：TN249;O472+.1(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：83-84,90