VOX微测辐射热计的研制

摘要：

文中讨论了影响非制冷微测辐射热计的主要因素,介绍了器件中结构设计和材料的选取,给出了工艺过程和器件的测试结果.

关键词：VOx材料、微测辐射热计、非制冷焦平面阵列

所属期刊栏目：31

分类号：TN376(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：364-366