光阵列发生器微电子加工

摘要：

研究了光阵列发生器的微电子加工工艺,设计并加工了一维和二维光阵列发生器,通过实验测试了其性能.

关键词：光阵列发生器、光栅、微电子加工

所属期刊栏目：31

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：江苏省教育厅科研项目99KJB140005

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：248-249