SOI光波导开关研究进展

摘要：

SOI光波导是硅基光波导器件的基础,也是实现其它集成光学器件的基础.文章论述了SOI材料、SOI光波导以及SOI光波导开关的一些特性和研究进展.

关键词：SOI、光波导、光开关

所属期刊栏目：31

分类号：TN252;TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金69990540,69896260

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：198-201