陶瓷激光精密打孔工艺研究

摘要：

用脉冲Nd:YAG激光对氧化铝(AL2O3)陶瓷基片进行了激光打孔试验,分析了激光能量、激光脉宽、脉冲频率、离焦量等工艺参数对成孔质量的影响.

关键词：脉冲Nd:YAG激光、AL2O3陶瓷、激光打孔

所属期刊栏目：31

分类号：TN249;TG665(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：161-162