PtSi红外探测器材料制备技术

摘要：

介绍了溅射、分子束外延、脉冲激光沉积和激光分子束外延等PtSi薄膜的制备方法及应用进展.着重介绍了脉冲激光沉积和激光分子束外延技术的原理及特点.

关键词：红外探测器、纳米薄膜、脉冲激光沉积、激光分子束外延

所属期刊栏目：30

分类号：TB34;TN204(工程材料学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：234-237