PtSi红外焦平面阵列技术的发展概况

摘要：

介绍了PtSi肖特基势垒红外焦平面阵列技术的最新进展,分析了国内研究中存在的问题,并指出了今后的发展方向.

关键词：PtSi、红外焦平面阵列、CCD

所属期刊栏目：30

分类号：TN362(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：48-50