光热调制半导体激光波长降低干涉测量误差

摘要：

首次将光源波长的光热调制技术用于正弦相位调制干涉仪中,消除了因直接调制激光波长引起的光强变化对测量的影响,降低了测量误差.

关键词：半导体激光器、光热效应、干涉仪、光学检测

所属期刊栏目：29

分类号：TN3(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;上海市"应用材料研究与发展基金"与中科院"百人计划"资助项目

在线出版日期：2005-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：375