自动测量超光滑表面微分散射的微分散射仪

摘要：

介绍一种对超光滑光学基片及光学膜片表面进行微分散射分布自动检测的微分散射仪.对散射理论以及仪器原理、关键技术和系统性能等进行了阐述.该仪器已经工程化,正为激光陀螺的研制、生产服务.

关键词：微分散射、表面粗糙度、检测仪器、激光陀螺

所属期刊栏目：29

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2005-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：347-349,355