脉冲激光烧蚀金属Cu产生电子和离子发射研究

摘要：

通过对脉冲Nd:YAG激光烧蚀金属Cu过程中的烧蚀靶和收集板上电压信号的时间分辨测量,研究了激光烧蚀金属Cu产生电子和离子发射过程及其受缓冲气压的影响.实验结果表明:在激光烧蚀过程中,烧蚀靶上产生离子和高能电子,高能电子较离子率先从靶面出射;随着烧蚀环境气压的升高,烧蚀靶与收集板上的电荷量迅速减少.

关键词：Nd:YAG激光、激光烧蚀、电子和离子发射、金属Cu

所属期刊栏目：29

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金

在线出版日期：2005-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：286-289