高精度小视野TFT-LCD图像异物缺陷自动分割

摘要：

为了精确分割TFT-LCD异物缺陷,准确计算缺陷尺寸,满足TFT-LCD工业生产中对异物缺陷检测的需求,提出一种面向高精度小视野TFT-LCD图像的异物缺陷高精度自动分割方法.首先,根据屏幕像素的空间分布规律,考虑缺陷的尺寸变化,采用基于空间信息多尺度显著性的缺陷提取方法,自动获得图像中的缺陷区域.然后,结合缺陷与屏幕像素间隙的空间分布关系,找到被像素间隙截断的对应缺陷块组.最后,利用局部凸包拟合算法对缺陷区域进行连通,实现对异物缺陷的自动分割.实验结果证明,所提方法能较精确地分割异物缺陷,精确率和召回率分别为95.36％和93.34％,且尺寸计算正确率为96.5％,基本满足工业生产中TFT-LCD异物缺陷尺寸计算的稳定可靠、高精度、高准确性等要求.

关键词：机器视觉、TFT-LCD、缺陷分割、显著性检测、凸包拟合

所属期刊栏目：59

分类号：O436(光学)

在线出版日期：2022-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：304-311