立体光栅测角传感器系统研究

摘要：

为了解决测角传感器精度和径向尺寸之间难以调和的矛盾,从辐通量和莫尔条纹的角度,详细推导和分析了端面光栅轴系误差和柱面光栅轴系误差,并建立了误差模型.基于轴系误差分析,设计了一款结合端面光栅和柱面光栅的立体光栅测角传感器,并搭建了立体光栅测角传感器实验系统.实验结果表明,当读数头呈均匀分布时,立体光栅测角传感器的误差为6.75";当读数头呈非均匀分布时,立体光栅测角传感器的误差为4.33".研究结果为轴系误差的抑制提供了新方法,为小型化、高精度测角传感器的研制提供了参考.

关键词：测量、测角传感器、轴系误差、角度测量、误差分析、圆光栅

所属期刊栏目：58

分类号：P204(一般性问题)

资助基金：吉林省教育厅项目;吉林省预算内基本建设资金项目;博士科研启动经费项目

在线出版日期：2022-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：135-140