偏振光反射法测量薄膜参数

摘要：

根据偏振光反射原理和多角度测量的多点拟合算法,研究了薄膜材料的厚度、实际测量中的噪声、特殊入射角三个因素对薄膜参数测量精度的影响.对SiO2薄膜样品进行数值模拟分析,结果表明,薄膜厚度大于150 nm时的反演误差较小,50 nm以下的薄膜反演误差较大；噪声越小测量精度越高；SiO2薄膜存在特殊的入射角,该角选为初始入射角将出现较大误差甚至错误,测量时应避开.若初始入射角的选取偏离特殊角±2°,即可消除特殊点所带来的影响.

关键词：测量、薄膜、折射率、偏振光、反射

所属期刊栏目：49

分类号：O436(光学)

资助基金：广东省科技计划C60109,2006B12901020资助课题

在线出版日期：2013-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：77-82