哈特曼-夏克波前传感器的插值重构算法

摘要：

为实现使用Hartmann-Shack(哈特曼-夏克)波前传感器对高分辨率物镜进行高精度检测,提出了使用二维插值多项式替代泽尼克(Zernike)多项式为重构基底对被测波前进行模式重构的方法.为了验证方法的可行性,仿真高分辨率物镜设计波像差为待测波前,得到重构误差均方根(RMS)值为0.0609λ.模拟理想球面波为待测波前,重构精度随拟合阶数增加稳定变化.经过重构正弦波前、余弦波前、非球面波前以及含有低阶球差、彗差、象散、场曲和畸变等像差的一般波前,进一步对比了Zernike多项式和二维插值多项式为基底的重构精度,得到了一种较Zernike多项式拟合精度更高更稳定的模式重构基底.

关键词：哈特曼-夏克波前传感器、模式波前重构、泽尼克多项式、二维插值多项式

所属期刊栏目：49

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：国家杰出青年科学基金41104122资助课题

在线出版日期：2013-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：22-28