157nm激光微加工制作的微光纤压力传感器

摘要：

为了提高微光纤压力传感器的制作效率,采用157 nm激光加工的自封闭式法布里-珀罗腔,形成在线式全光纤压力传感器,包括微腔和一截短的单模光纤.跟踪压力传感器相位的变化可以获得压力大小.在0～60 MPa的测量范围内,灵敏度达到0.01 rad/MPa,长期稳定性达到±0.04 MPa.所做的10个传感器样品,在60 MPa的测量范围内,灵敏度的冗余度达到±5％,可以规模化制造.这种传感器有望在航空航天、汽车工业和井下监测等领域发挥作用.

关键词：光纤光学、压力传感器、激光加工、法布里-珀罗

所属期刊栏目：48

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

资助基金：中央高校基本科研业务费资助课题

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：52-55