全硅片上光互连用波导

摘要：

较详细地分析了用于全硅片上光互连所用光波导(如多晶Si/SiO2、Si/SiO2、Si3N4/SiO2)需满足的基本条件、制作方法以及损耗机制,总结了目前的研究进展.

关键词：光电子集成、光波导、互补型金属氧化物半导体(CMOS)、硅

所属期刊栏目：43

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金NSFC605360300;天津市应用基础研究项目043800811

在线出版日期：2006-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：27-31