固态纳米孔高能束制造方法

摘要：

固态纳米孔因具有机械性能好、稳定性强、形状易控的优点,在基因检测、蛋白质检测、能量转换、物质分离以及水净化等领域显示出巨大的潜力,并引起众多研究人员关注.其中,形状可控、高效的固态纳米孔制造技术是现实固态纳米孔应用的前提.目前,在常见的固态纳米孔制造方法中,高能束制造方法具有高效率、高精度、高可控制造的优势.本文重点概述高能电子束、聚焦离子束、激光刻蚀法和离子径迹刻蚀法等4种固态纳米孔制造方法及其基本原理,并讨论上述方法的优缺点及其大规模可控制造的可行性.

关键词：固态纳米孔、高能束制造、制造方法

所属期刊栏目：43

分类号：TB383;TN249(工程材料学)

资助基金：广东省自然科学基金项目2114050001484

在线出版日期：2023-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1-9