磨料质量分数对磨硅片用金刚石砂轮磨削性能的影响

摘要：

采用改进的凝胶注模技术制备多孔陶瓷结合剂超细金刚石砂轮,研究6种不同质量分数磨料(质量分数分别为27％、30％、33％、36％、39％、42％)的多孔金刚石砂轮的显微结构和磨削性能.结果表明:磨料的质量分数直接影响砂轮磨削时的磨削电流、砂轮磨损速率,进而影响硅片磨削后的表面一致性.使用磨料质量分数为39％的砂轮时,硅片磨削后可获得粗糙度为4.8 nm的光滑表面.

关键词：磨料质量分数、陶瓷结合剂、磨削性能、硅片

所属期刊栏目：41

分类号：TG74;TG58(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

在线出版日期：2022-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：80-84