大尺寸单晶硅片加工技术简介

摘要：

硅元素在地壳中的含量仅次于氢元素和氧元素,其主要以化合物的形式广泛存在于自然界中.在 20世纪,人们发现硅的半导体性质后,硅材料即作为基础性材料被陆续用于晶体管和集成电路(integrated cir-cuit,IC)等半导体产业中.由于硅的 储量丰富、价格低廉等特点,使其在半导体材料中居于极为重要的地位,并随着科技进步而蓬勃发展.

机标关键词：大尺寸单晶、加工技术、硅片加工、单晶硅片

所属期刊栏目：40

分类号：TN304.12;TG111.4;O65

在线出版日期：2020-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-4