对金刚石膜中黑色缺陷的研究

摘要：

为了提高金刚石膜的透光性和技术参数的稳定性，对高功率直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜中的黑色缺陷进行了研究。黑色缺陷可以分为点状、块状、纹理状和层状四种，用多种光学显微镜仔细观察、分析、测量、对比，研究发现：膜中粒状金属杂质、碳素体、孔洞、贯穿孪晶对光的遮挡和散射作用产生点状缺陷；晶柱间晶面倾角和走向的改变对光产生的散射和反射作用产生块状和条带状缺陷；膜中应力产生条纹缺陷；膜中不同层位导电元素对光的吸收产生层状缺陷。缺陷的存在严重影响金刚石膜的透光性、磨耗比、热导率和3点抗弯断裂强度的提高及稳定性。且本研究也提出了一些解决缺陷的方法。

关键词：化学气相沉积、金刚石膜、黑色点状缺陷、黑色块状缺陷、黑色层状缺陷

分类号：TQ164

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）;河北省自然科学基金

在线出版日期：2015-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：29-34