LED 蓝宝石衬底研磨工艺研究

摘要：

为改善蓝宝石加工工艺， 通过金刚石研磨液研磨LED蓝宝石衬底试验， 研究了此过程中的工艺参数(研磨盘材质、研磨压力、研磨盘转速等)对材料去除速率和表面粗糙度值Ra的影响。试验结果显示：研磨盘材质以铜质为佳， 其最优工艺参数组合为研磨压力20. 68kPa、研磨盘转速80r/min。

关键词：金刚石研磨液、蓝宝石衬底、工艺参数、去除速率、表面粗糙度

分类号：TG74;TQ164(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

在线出版日期：2015-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：59-62