CVD金刚石膜高速机械研磨温度场的有限元模拟

摘要：

CVD金刚石膜的高速机械研磨是一种高效的研磨方法,研磨区域的温度场分布直接影响金刚石膜的研磨质量.本文采用三维热-力耦合有限元法对三种不同运动条件下的温度场进行分析.结果表明:在不同的运动条件下,金刚石膜表面的温度场呈不均匀分布.当金刚石膜与砂轮作同向运动时,整个金刚石膜的温度差最小.文中得出的结论可以为提高工件表面平整性提供理论基础.

关键词：CVD金刚石膜、温度场、机械研磨、有限元法

所属期刊栏目：31

分类号：TG58(金属切削加工及机床)

资助基金：辽宁教育厅创新团队LT1010089

在线出版日期：2012-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：20-24