双脉冲电源参数对电铸金刚石-镍复合膜品质的影响

摘要：

采用电铸法制备了金刚石-镍复合膜,研究了平均电流密度、正向脉冲频率、正向脉冲占空比、反向脉冲占空比等双脉冲电源参数对镀层厚度的均匀性、沉积速率、硬度、表面形貌的影响.结果表明:随着平均电流密度的增加,沉积速率增大并趋于稳定,复合膜硬度先增大后减小,厚度的均匀性变差;随着正向脉冲频率的增加,沉积速率和硬度都增大,厚度的均匀性变化不大;随着正向占空比的增加,复合膜的沉积速率先增大后变小,硬度减小,厚度的均匀性变差;随着反向占空比增大,复合膜沉积速率变化不大,硬度增加,厚度均匀性变得更好;平均电流密度对复合膜表面形貌影响很大,大的电流密度使复合膜产生针孔、镍瘤等,而反向脉冲可以消除针孔、镍瘤,改善复合膜表面形貌,提高金刚石-镍复合膜品质.

关键词：双脉冲电镀、金刚石-镍复合膜、脉冲参数、复合膜品质

所属期刊栏目：31

分类号：TQ164

资助基金：河南省科技攻关计划;河南省教育厅科技攻关计划

在线出版日期：2011-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：5-10