脉冲偏压辅助热丝法沉积金刚石膜的实验研究

摘要：

本文针对金刚石涂层应用于工具、模具的需要,研究脉冲偏压在热丝法沉积金刚石工艺中促进金刚石形核、生长的作用.进行了不同脉冲电压、频率、占空比条件下制备金刚石涂层的试验,采用金相显微镜观察涂层的颗粒尺寸及均匀性、致密性,确定了优化的工艺参数.采用优化的工艺参数在硬质合金基体表面沉积金刚石涂层,观察金刚石涂层的结构并测试与基体的结合力.结果表明,生长的金刚石涂层颗粒细小、均匀,与基体的结合力良好.

关键词：金刚石膜、热丝CVD、脉冲偏压

所属期刊栏目：30

分类号：TQ164

资助基金：国防科技工业民用专项工程研制项目

在线出版日期：2010-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：56-59,66