电铸金刚石-镍复合膜微观应力分析

摘要：

用电铸方法,采用低应力电镀液,研制出了金刚石-金属复合膜.该复合膜的厚度为20-45μm,可用于制作超薄切割刀具.介绍了用X射线衍射法(XRD)测量多晶体微观应力的基本原理和用X射线衍射法测量镍多晶体显微应变的程序.用单波法计算了电铸金刚石-镍复合膜的显微应变,并用扫描电镜(SEM)观察了该复合膜的表面形貌.结果发现:阴极电流密度严重影响复合膜的显微应变,在实验所用电流密度范围内(0.6-3.5 A/dm2),随着电流密度的增加,显微应变减小.

关键词：金刚石-镍复合膜、显微应变、XRD、SEM

分类号：TQ164

在线出版日期：2006-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-37