燃焰法沉积金刚石薄膜涂层刀具时的生长均匀性研究

摘要：

在分析研究燃焰法合成金刚石机理的基础上，研究了用燃焰法在刀具上沉积金刚石薄膜时的生长均匀性问题。提出了刀刃上金刚石的异常生长原因及抑制方法，获得了涂层均匀的金刚石薄膜涂层刀具。

关键词：金刚石、薄膜涂层刀具、燃焰法、均匀性

分类号：TG7(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：17-19