基于数字锁相放大器的原点检测技术

摘要：

针对微纳加工中原点检测精度低的问题,提出了一种基于数字锁相放大器的新型原点检测技术.通过微力传感器检测基底与模板之间的接触力,并添加了激振器模块和数字锁相放大模块.激振器模块使用参考正弦信号驱动基底按一定频率振动,同时将测得的微弱接触力信号经过数字锁相放大模块与参考信号进行相关计算,提取接触力振幅以实现接触检测.实验结果表明,该方法消除了温漂等外部干扰对接触检测带来的影响,能够达到纳米级的零位检测精度.

关键词：数字锁相放大器、微纳加工、原点检测

所属期刊栏目：19

分类号：TN9;TP2

在线出版日期：2013-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：47-51