基于激光干涉和视觉技术的铟瓦标尺自动测量装置研制

摘要：

结合激光干涉仪准确测距和视觉图像刻线智能识别技术,研制了对铟瓦标尺刻线间隔进行检定的自动测量装置,介绍了该装置的基本原理、主要硬件组成及软件实现.该装置测量铟瓦标尺的扩展不确定度不超过6μm,满足铟瓦标尺的检定要求.

关键词：激光干涉、视觉测量、铟瓦标尺、不确定度

分类号：TH711;TP23(仪器、仪表)

在线出版日期：2022-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：42-45