不同掺量YF3氟化物助剂对Si3N4显微结构及热导率的影响

摘要：

通过加入不同含量的YF3氟化物助剂,在1900℃/1 MPa N2压力下保温4 h,以研究YF3含量差异对于Si3N4显微结构及热导率的影响.结果表明,少掺量的YF3助剂对Si3N4的致密过程基本没有影响,但能较明显促进晶粒的生长从而提高热导率;当加入大掺量YF3时,致密过程因为气体物质的生成及助剂本身的挥发而受到一定抑制,由此引发较多的气孔,但因为大掺量YF3组的晶粒尺寸更大,样品最终的热导率也更大,最高达到了81.88 W/(m-1·K-1).

关键词：氮化硅(Si3N4)、YF3氟化物助剂、热导率

分类号：TH145.1+1;TQ174.6

资助基金：佛山市科技创新团队项目;肇庆市西江创新创业团队

在线出版日期：2022-06-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：18-21