一种压电驱动的角位移微动平台设计与优化

摘要：

为满足高精度微纳定位需求,设计了一种基于压电驱动的三自由度角位移微动平台,并测试与优化了其性能.

关键词：压电驱动、角位移、微动、三自由度

分类号：TP311.52;TN929.5;TP273

在线出版日期：2021-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：50-51,54