基于动态光电瞄准的2m激光干涉比长仪研究

摘要：

激光干涉比长仪是用激光波长直接检定线纹尺的工作基准类仪器,可将几何量值直接溯源到国际推荐的激光波长.为减小测量误差,满足测长精度,研究了新的激光干涉比长仪装置.该装置主体结构采用花岗岩石,利用空气静压导轨技术、高精度光电显微镜瞄准技术和空气折射率准实时修正技术等,有效提高了测量精度.

关键词：激光干涉比长仪、动态光电瞄准、折射率修正、软件控制

分类号：TM923;TN216;TP271

在线出版日期：2021-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：29-31