洁净厂房温湿度控制特点综述

摘要：

以国内最大的8．5代 TFT‐LCD工厂 FMCS为实例，探讨洁净厂房温湿度控制过程中的几个重要控制环节。

关键词：洁净间、温湿度、正压、PLC、传感器、变频器

在线出版日期：2015-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：93-93,95