天加“中国梦”——记中国第一个国际最高等级“ISO 1级”超净环境集成系统

摘要：

ISO 1级超净环境是什么?1963年美国制定出国际上第一套洁净室标准,此后不断修改标准,同时世界上几个主要的国家根据自己的需要,分别制定了自己的洁净标准.1999年ISO统一了各国的洁净度标准,并颁发ISO 14644-1标准,是当今国际通用的空气洁净度标准.ISO 1级是该标准的最高要求,为0.1μm≤10颗/m3,0.2μm≤2颗/m3,实现难度非常大.

机标关键词：中国、高等级、超净环境、洁净标准、空气洁净度、国际通用、洁净室、美国、国家、出国

分类号：TN3;TB6

在线出版日期：2015-02-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：76-81