照明系统远心度仿真模型建立及分析

摘要：

远心度是衡量光学投影曝光光刻机照明系统性能的重要参数,依据光的衍射理论构建了远心度相关的光刻机投影物镜成像模型.通过matlab软件模拟分析了193 nm光刻机照明系统远心度对线条偏移量的影响.仿真结果显示:环形照明时照明系统远心度会造成孤立线条和周期线条发生偏移,远心度越大线条偏移量越大;远心度为10 mrad时,硅片面100 nm的离焦量会使孤立线条和周期线条分别偏移1.3 nm和2.61 nm,孤立线条偏移量大于周期线条偏移量.仿真结果验证了光刻物镜成像模型的正确性.

关键词：光刻;环形照明;远心度;线条偏移

所属期刊栏目：38

分类号：O439(光学)

资助基金：国家自然科学基金项目201901D211466

在线出版日期：2021-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：15-20