一种区熔法对多晶硅棒进行磷检验的设备结构设计

摘要：

多晶硅制备中的理化检测,特别是在线的化学分析,是多晶硅制备时的眼睛,为了保证最终产品的质量,这种检测和分析是不可或缺的.高纯度多晶硅是用于制备电力电子元件、大规模集成电路和太阳能光伏电池的基础原料,多晶硅质量的好坏直接影响这些后续产品的质量.本文主要从多晶硅的物理检测:基磷含量的检测设备的结构设计出发,简要介绍区熔法检验炉的结构设计.

关键词：多晶硅、磷检炉

所属期刊栏目：36

分类号：TH122

在线出版日期：2023-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：65-67,70