基于重复控制的半导体巨量转移设备高速高精定位方法研究

摘要：

半导体巨量转移设备执行点对点的重复快速点位运动,要求运动具有高速高加速和快速高精到位性能.直线电机由于其推重比高、精度高和结构简单等优点而广泛应用于mini LED等半导体巨量转移装备,但其正因为采用直线电机直接驱动,加载在执行机构的干扰直接施加在驱动电机上,对运动控制提出了更高要求.本文将基于驱控一体控制器对负责高速高精位置定位的上下两层XY直线电机提出一种P+改进重复控制的控制方法应用于该电机级联控制的位置环,其中重复控制器应用于负载惯量和有规律干扰的补偿,P控制器应用于随机干扰的快速抑制,本控制方法将有效实现巨量倒装转移系统控制的高速高精运动要求.

关键词：PID;半导体;重复控制;直线电机;级联控制

所属期刊栏目：35

分类号：TM359.4(电机)

资助基金：广东省普通高校特色创新项目;广东省自然科学基金面上项目

在线出版日期：2022-03-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：89-91