高精密芯片测试探针台打点器的设计与研究

摘要：

探针台是半导体芯片测试的高精密仪器,其中打点器是探针台的主要配件,负责对分选芯粒进行打点标记.文中介绍了打点器的种类和打点方式,并且结合客户在使用过程的反馈意见,总结了打点器存在的一些问题,设计研究了一种新的打点器结构,并且对设计后的结构进行了实际测试,打点效果得到了明显改善.

关键词：点器、鱼线、电磁铁

所属期刊栏目：33

分类号：TH6(专用机械与设备)

在线出版日期：2020-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：32-33