碳碳复合材料快速沉积炉石墨加热系统设计

摘要：

本文以开发的碳碳复合材料快速沉积炉为依托,详细介绍碳碳复合材料快速沉积炉(CVI:Chemical Vapor Infiltration)石墨加热器的设计过程,根据设备和工艺使用要求,重点介绍加热保温系统中的加热器设计、加热器表面负荷校核、加热器应力校核.实验结果表明:所设计的石墨加热器满足生产工艺要求;项目在实际生产过程中取得了1mm/h的碳沉积速度;产品在硅单晶炉热场使用中达到了预期使用寿命,成本价与同规格石墨价格接近,满足使用要求.

关键词：碳碳复合材料、气相沉积炉、石墨加热器设计

所属期刊栏目：33

分类号：TH145.1+3

资助基金：国家重点研发计划“基础制造工艺资源环境负荷数据采集及环境评价数据库建设”铸造工艺资源环境负荷数据采集与环境影响评价2018YFB2002102

在线出版日期：2020-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：8-10